

配备电子枪、穴型、腰型或环形坩埚,阻抗式蒸发源;配置光学膜厚控制仪或石英晶体膜厚控制仪,可实现成膜速度和镀膜过程的自动控制;可选射频RF/考夫曼型/霍尔型离子源。
该系列的开发是为了满足面向大规模生产的市场需求,设备经过生产验证,高生产率,最低的拥有成本大批量光学元件成本优化生产。可制备AR、UV/IR截止滤光片、AF、硬质膜、装饰膜、ITO膜 、带通滤光片、HR膜等。
AR 膜(基材玻璃透过率>91.5%):
■ 420-680nm波段,单面平均透过率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■ 双面平均透过率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;
AS/AF膜测试标准:
■ 初始接触角范围为 115±5°;
■ 钢丝绒耐摩擦测试标准:用 0000#钢丝绒,面积为 10*10mm,行程 40 次/分,负载1Kg,5000 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
■ 橡皮擦测试标准: 直径 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,负载1Kg, 2500 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
备注:测试样片玻璃需为经过精密抛光过的触摸屏盖板专用玻璃,表面光洁。
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